表面粗糙度(Surface roughness)是指材料表面的微小表面起伏（波峰、波谷）的不平度。早在1920-1930年間，德國的一些研究人員就開始了對表面粗糙度的研究。研究表明，材料的表面特性對機械性能有很大的影響，而隨著機械零部件的性能要求和加工工藝的提升，零部件表面的粗糙度情況也變得尤其重要。粗糙度的形成？如果你仔細觀察機床加工零件的過程，你會注意到零件的表面在刀片和機床的作用下，表面呈現出一種復雜的形狀，它大多數情況下是由一系列不同高度、深度和間距的波峰波谷組成。這些波峰波谷非常微小，

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失效分析是對于電子元件失效原因進行診斷，在進行失效分析的過程中，往往需要借助儀器設備，以及化學類手段進行分析，以確認失效模式，判斷失效原因，研究失效機理，提出改善預防措施。其方法可以分為有損分析，無損分析，物理分析，化學分析等。其中在進行微觀形貌檢測的時候，尤其是需要觀察斷面或者內部結構時，需要用到離子研磨儀+掃描電鏡結合法，來進行失效分析研究。離子研磨儀目前是普遍使用的制樣工具，可以進行不同角度的剖面切削以及表面的拋光和清潔處理，以制備出適合半導體故障分析的 SEM 用樣品。離子研磨儀TECH